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    三箱式RTO

    發(fā)布時(shí)間:2021-01-07

    三箱式RTO是第二代產(chǎn)品 ,用于國(guó)外的半導(dǎo)體工廠(chǎng)

     


    三箱式RTO簡(jiǎn)述

    利用蓄熱材料的直接、高效換熱,用于廢氣治理是國(guó)外上世紀(jì)九十年代才出來(lái)的新技術(shù)。我公司在消化蓄熱換熱原理、熱力氧化爐技術(shù)基礎(chǔ)上,開(kāi)發(fā)了兩廂、三廂及多廂反吹蓄熱式氧化爐。這種爐型工藝先進(jìn)、運(yùn)行長(zhǎng)期穩(wěn)定、成本低廉,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制。將有機(jī)廢氣預(yù)熱至800℃以上,在氧化燃燒室升溫加熱至850℃,停留時(shí)間為>1.2s,使廢氣中的VOC氧化分解成無(wú)害的CO2和H2O;氧化時(shí)的高溫氣體的熱量被蓄熱體“貯存”起來(lái),用于預(yù)熱新進(jìn)入的有機(jī)廢氣,從而節(jié)省升溫所需要的燃料消耗,降低運(yùn)行成本。


    工作原理
    待處理有機(jī)廢氣進(jìn)入蓄熱室1的陶瓷介質(zhì)層,陶瓷釋放熱量,溫度降低,而有機(jī)廢氣吸收熱量,溫度升高,廢氣離開(kāi)蓄熱室后以較高的溫度進(jìn)入氧化室,此時(shí)廢氣溫度的高低取決于陶瓷體體積、廢氣流速和陶瓷體的幾何結(jié)構(gòu)。在氧化室中,有機(jī)廢氣再由燃燒器加熱升溫至設(shè)定的氧化溫度,使其中的VOC成分分解成二氧化碳和水。由于廢氣已在蓄熱室內(nèi)預(yù)熱,燃料耗量大為減少。氧化室有兩個(gè)作用:一是保證廢氣能達(dá)到設(shè)定的氧化溫度,二是保證有足夠的停留時(shí)間使廢氣中VOC充分氧化。 廢氣在氧化室中焚燒,成為凈化的高溫氣體后離開(kāi)氧化室,進(jìn)入蓄熱室2(在前面的循環(huán)中已被冷卻),放熱降溫后排出,而蓄熱室2吸收大量熱量后升溫(用于下一個(gè)循環(huán)加熱廢氣)。凈化后的廢氣經(jīng)煙囪排入大氣,同時(shí)引小股凈化空氣清掃蓄熱室3。排氣溫度比進(jìn)氣溫度高約40℃左右。循環(huán)完成后,進(jìn)氣與出氣閥門(mén)進(jìn)行一次切換,進(jìn)入下一個(gè)循環(huán),廢氣由蓄熱室2進(jìn)入,蓄熱室3排出。同時(shí)引回一部分凈化氣清掃蓄熱室1。周而復(fù)始,連續(xù)工作。


    三箱式RTO流程圖



    三箱式RTO


    性能特點(diǎn)
    采用蓄熱式換熱裝置,蓄熱載體與氣體直接換熱,爐膛輻射溫壓大,加熱速度快;低溫?fù)Q熱效果明顯,所以換熱效率特別高:大限度回收氧化產(chǎn)物中的濕熱。熱效率高,排煙溫度低,節(jié)能效果明顯。降低燃料消耗也就意味著減少了溫室氣體的排放。
    2、蓄熱室內(nèi)溫度均勻分級(jí)增加,加強(qiáng)了爐內(nèi)傳熱,換熱效果更佳。
    3、擴(kuò)大了高溫火焰氧化區(qū)域,火焰的邊界幾乎擴(kuò)展到爐膛的邊界,從而使得爐膛溫度均勻,這樣一方面提高了凈化效率,另一方面延長(zhǎng)了爐膛壽命;
    4、氧化室內(nèi)的溫度整體升高且分布更趨均勻;爐膛溫度可達(dá)800℃,氣流速度小,氧化速度快,煙氣再爐內(nèi)高溫停留時(shí)間長(zhǎng),有機(jī)物氧化分解完全,環(huán)保效果明顯;
    5、系統(tǒng)采用PLC自動(dòng)氧化控制,自動(dòng)化程度高、運(yùn)行穩(wěn)定、安全可靠性高;
    6、可根據(jù)廢氣情況,合理設(shè)置熱能回收裝置,在高溫氧化室接換熱器、導(dǎo)熱油爐或余熱鍋爐;低溫?zé)煔庥脕?lái)加熱廢氣,充分利用治理廢氣中余熱。

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